第(3/3)頁 從華芯國際生產車間中偷偷摸出來的光刻機,是193nmarf光源的干式光刻機,生產的半導體工藝節點最多可以達到45/40nm。 但阿斯麥爾采用的浸沒式技術,和激進的可制造性設計(dfm)等技術后,可以將工藝制程邁進22nm以內,甚至通過多重曝光等技術,可以達7nm的工藝! 7nm,那已經相當于江成前世用的麒麟980、985的技術。 至于技術,其實也并不復雜。 通過在原有的193nm光刻機系統當中增加浸沒單元,利用超純水替換透鏡和晶圓表面之間的空氣間隙。 因為超純水在193nm波長時的與空氣的折射率1.44:1,故而讓光源進入后波長縮短,從而提升光刻分辨率。 不過超純水這些東西,江成并不確定自己能否模擬出來。 體內電腦模擬的出來的,主要是電子設備或是能夠運行電子的材料。 其他塑料、非金屬材料,更多是模了一個樣子,并沒有實際用處。 江成嘗試了一下,將手指伸到自來水處。 釋放生物電流。 然而,沒有任何反應。 江成估計超純水這樣的液體,也無法進行模擬。 但江成卻又有了想法。 超純水咱搞不了,但在體內電腦里頭,咱們的權限是超級大的啊! 這可不像是在外界的實體設備,無法輕易調整。 江成可以自由調整和修改各類材料、各類電路。 甚至光刻機的光源激發設備,江成也覺得可以嘗試一下調整調整嘛。 誰讓你模擬進來實驗室了呢? 在這實驗室里頭,所有的東西都是模擬出來的,一切由江成做主。 不就是要降波長嘛,就是沒有超純水,咱也照樣盤他! 第(3/3)頁